不过喷淋法最大的优点就是能完整的利用现有设备，可以说这套喷水和吸水的设备完全独立于晶圆生产线，只和光刻镜头联动，进行晶圆生产线技术升级时难度和改建成本都极低。

    第二种叫浴缸法，这个方法和梁远刚刚说的灵感类似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

    这种方法的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动，必须研制全新的能在水中工作的光刻胶，必须对晶圆工作台加以改进，而且由于晶圆工作台上增加了水的重量，晶圆生产线的生产节拍也会随之改变，相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

    第三种叫泳池法，就是把整个光刻程序都丢进水里来完成，这种方法虽然能最大化的减少线宽，不过在水中操作相当于重新研发一套晶圆生产体系，无论工程难度还是经济成本都双双过高。

    新世纪之后，浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法，不过以港基集电目前的实力来说，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线，一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛
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