了笑。

    周颖一下子感觉自己能力好像有点不够了！

    是不是也要学下刘林回校进修下！

    “那没关系，到时候我让吴灿陪你去，你负责大方面，反正你也知道我的打算，技术方面你交代吴灿就行！”刘林拍了拍周颖玉肩道。

    “如果是这样，那就没问题了！”周颖瞬间感觉自己又能胜任，便来劲了：“老公你现在跟我说说是什么样的设备，大概就行，至少让我知道是什么东西，别到时候一问三不知，那就尴尬了！”

    刘林耸耸肩，点点头！

    “好，我那给你说说，明天我给你一份离子光刻机的设计资料！他的可见g线：136nm，i线：65nm，深紫外光（duv），krf 准分子离子束：48 nm， arf 准分子离子束：23 nm！”

    “光刻机的波长越短，可曝光的特征尺寸就越小，波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，刻蚀对于精度控制要求越高。”

    “还有就是离子束有着足够大的能量，能量越大，曝光时间就越短。”

    “曝光系统的功能主要有：平滑衍射效应、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。”

    “而光刻机的主要性
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