产业界提出了各种超越  193n  的方案，其中包括  157n  f2  激光，电子束投射(epl)，离子投射(ipl)、euv(135n)和  x  光，几年的发展之后在世纪之交形成了几大技术阵营。

    157n  f2每家大型光刻公司都在研究，但唯独东洋尼康第一个推出了达到商用标准的产品。

    157n  光会被现有主流193n机器所用的镜片吸收，光刻胶也要重新研制，所以产线改造难度极大，几乎是另起炉灶的重新再来，而157n光源对  193n的波长进步只有不到  25，研发投入产出比实在太低。

    也不知道东洋是幸还是不幸，得益于其国民性的工匠精神死磕波长缩短的尼康属实伟大，第一个解决了困扰世界十来年的光源波长问题。

    但可惜的是，彼时华人科学家林本坚博士光刻胶上加水的创意已经把193光源的波长通过折射直接变成137n未来更把193光源的线宽直接推进到了十纳米以下，直接把尼康投入巨资所研发的技术毫无悬念的送回了老家。

    这件事绝对可以载入人类电子产业的发展史，可以说林本坚博士以一己之力直接击沉了东洋电子产业都不为过，要知道尼康
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