na代表着镜头的数值孔径这玩意的学术描述比较复杂，简单的说就是na值越大透光越多分辨率越高。

    λ这玩意经过义务九年的都知道，代表着光的波长，在公式中波长越低光刻机的精度就越高。

    因此实现摩尔定律的前提就是减小k1、λ的数值，搞大na的数值。

    相比磨镜头这种比较坑爹见效很慢的耐心活，缩短光的波长就成了提升光刻机精度最为直接也最为优先的手段。

    早期光刻机土鳖的很，基本都是从电影摄像机上改造出来的，曝光光源也比较奇葩从光谱红外端到近紫外段用啥的都有，

    不过随着摩尔定律的生效，光源迅速从红外端向紫外端移动，镜头也迅速超越了电影镜头所要求的精度，越来越专业加工越来越难。

    时间到了八十年代，光刻机的主流光源开始使用高压汞灯，其波长为365n产业界管这玩意叫～  i-le。

    九十年代初期，光刻机的精度进入到10微米以下之后，高压汞灯所提供的356n波长就显得很大了，因此krf  激光器成了光刻机的主流光源，其产生的248  n波长的光源足够把晶圆生产线的线宽推进到纳米时代。

    九十年代
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